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DAGE 4800

一家專注於半導體、集成電路、LED老化測試係統、工業自動化測試檢測產品的設計、研發、銷售以及提供相關檢測技術服務和支持的科技公司。

DAGE 4800焊接強度測試儀
產品描述Nordson DAGE 4800 采用晶圓測試技術,可用於測試200毫米至450毫米的晶圓。 將成熟的技術與新的Paragon自動化軟件相結合,可提供準確性、可重複性和結果穩定性。

品質

準確性和可重複性確保您對測試結果的質量充滿信心。

退後精度

剪切高度的控製(複位)對剪切應用中一致性的測試結果至關重要。Nordson DAGE複位係統有助於設置和控製剪切高度,從而使複位精度達到+/-0.25微米。

成像

一係列功能強大的攝像頭和光學係統優化加載工具對準、自動編程和測試分析。

垃圾清理站

快速地從推刀及夾爪中自動清除殘渣

雙顯微鏡裝置

4800焊接強度測試儀的先進光學器件與顯微鏡的雙減振裝置和可調試視窗相結合,可提供圖像的穩定性

小尺寸準確定位

矢量微調控製,提供具有可編程的微動按鈕的小鍵盤操作,準確的步進移動,以確保位置精度

自動化測試

完全自動化的測試程序可以配置使用直觀的晶圓映射模塊在選定的或隨機的模具上運行一組測試。協助用戶從加載到結果,包括:攝像頭的對位,失效模式判定和圖形數據展示


先進的全自動晶圓測試技術

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1


40004000Plus焊接強度測試儀上使用的現有測試模組也與4800係統相兼容。

亮點:

l  人體工程學設計,抓取手柄輕便,可穩定無虞的移動

l  可快速輕鬆地與單功能測試模組交換

l  獲得專利的空氣軸承技術用於剪切力測試

暫存位置保護測試模塊裏麵的傳感器

l  傳感器應用窗口

光學係統

4800係統提供了一係列的光學解決方案:

圖像采集係統

為失效模式分析提供高分辨率圖像。內置於係統中,靠近測試頭的位置可提高產量,尤其適用於自動化測試。

校準攝像頭

內置配有微距變焦鏡頭和通州照明的高分辨率攝像頭。當與圖像采集係統配合使用時,自動化模板和程序的設置和使用得到顯著增強。



2

集成的圖像采集和對位攝像頭


三目攝像頭

借助合適的顯微鏡,可以從遠到近調整視場,非常適合微觀定位。與側麵對位攝像頭結合使用時,兩個視圖(前部和側麵)有助於實現準確測試頭校準。此外,可以使用高功率光學器件來觀察20微米以下的超微特征點,以輔助操作員進行剪切力測試校準。

集成校準

側麵對位攝像頭非常適合測試微特征。其支持輔助視點功能,可提供準確、可重複的測試。側麵對位攝像頭與測試模塊支架相連,可以提供超穩定、無震動且持續聚焦測試位置的圖像。

孔徑儀成像係統

孔徑儀可提供高倍放大圖像,非常適合工具的準確校準。它也可以實現離線失效模式分析、測試分級和實時測試記錄。

成功測試翹曲晶圓和薄晶圓

智能邊緣升降托盤擁有獨特的設計,邊緣升降撐腳能確保彎曲晶圓不會從托盤上滑落。漸進的真空壓力在晶圓上方形成真空。

產品特點包括:

預先調準準確性

通過在邊緣處完全支撐晶圓來消除橫向移動。

這確保了每個應用的晶圓放置。


3



內置的十字線攝像頭對準目標

該對準目標可確保操作員百分之一百確信負載工具相對於卡盤的位置。這種校準大大提高了準確性。


4



集成校準

通過內置的驗證和測試模組校準確保結果的準確性和可靠性。


智能和直觀的晶圓托盤控製器

多功能可編程控製器確保晶圓的可靠的傳輸。將其無縫集成到Paragon軟件中,可以提供有關真空夾緊壓力的反饋,從而防止損壞晶圓。

更重要的是,操作者可以輕鬆看到真空和氣壓的連續反饋信息,因此可以采取措施防止在壓縮空氣供應中斷的情況下損壞晶圓。



5



失效模式和分級


自動圖像采集係統定位正確的位置以優化圖像質量。擴展的景深選項也會生成自動聚焦的圖像和失效的3D地圖。


6


典型失效模式


全自動晶圓測試技術

集成晶圓處理

Nordson DAGE4800與晶圓處理係統集成,可確保操作可靠性和可重複性。

集成晶圓處理係統將Nordson DAGE4800轉化為一個完全自動化的係統,其利用下一代Paragon™焊接強度測試軟件確保可靠性和可重複的操作。

直觀和可配置的界麵為各種樣品配置提供了快速、簡便的自動化測試程序開發和執行。一步一步的向導引導用戶完成設置過程,滿足各種選擇需求。Paragon還提供了同事顯示記錄來自多台攝像頭視圖的功能。




7


CHAD晶圓處理器


8


Nordson DAGE 4800 Integra是自動晶圓焊接強度測試的解決方案。整個係統由工廠配置並由一台PC控製。

幾乎無需操作員介入測試

該係統完全由Paragon™軟件進行控製,經過編程後,無需操作員介入即可自動執行測試的所有部分。

ECS/GEM集成

係統直接連接到網絡以允許SECS/GEM操作。當與FOUP加載係統結合使用時,測試、分析和結果可以完全自動化。

無塵室兼容

可選風扇過濾裝置和前門可加入離子去除裝置,以進行無塵室操作。

自動晶圓矯正器

晶圓矯正器確保在測試之前可將翹曲的晶圓自動夾緊到真空吸盤上。

風扇過濾器

4800 Integra可安裝風扇過濾器和封閉門。這樣可以保持係統內部的正壓力,並將碎屑排出測試區域。

互鎖選項

可以安裝光幕或互鎖門,以保護操作者免受測試區域的傷害。係統將在光幕或互鎖門被損壞或被打開時暫停當前的測試,並在障礙物消除後重新啟動。

CCD攝像頭監控

可選的CCD攝像頭可以安裝在晶圓處理機上,也可以安裝在4800 Integra內部。允許對測試過程進行監視和記錄。


 

9

風扇過濾裝置和封閉門
10

光幕或互鎖門


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自動晶圓矯正器




先進的全自動晶圓測試技術

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4000和4000Plus焊接強度測試儀上使用的現有測試模組也與4800係統相兼容。

亮點:

n  人體工程學設計,抓取手柄輕便,可穩定無虞的移動

n  可快速輕鬆地與單功能測試模組交換

n  獲得專利的空氣軸承技術用於剪切力測試

n  “暫存位置”保護測試模塊裏麵的傳感器

n  傳感器應用窗口

光學係統

4800係統提供了一係列的光學解決方案:

圖像采集係統

為失效模式分析提供高分辨率圖像。內置於係統中,靠近測試頭的位置可提高產量,尤其適用於自動化測試。

校準攝像頭

內置配有微距變焦鏡頭和通州照明的高分辨率攝像頭。當與圖像采集係統配合使用時,自動化模板和程序的設置和使用得到顯著增強。

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集成的圖像采集和對位攝像頭


三目攝像頭

借助合適的顯微鏡,可以從遠到近調整視場,非常適合微觀定位。與側麵對位攝像頭結合使用時,兩個視圖(前部和側麵)有助於實現準確測試頭校準。此外,可以使用高功率光學器件來觀察20微米以下的超微特征點,以輔助操作員進行剪切力測試校準。

集成校準

側麵對位攝像頭非常適合測試微特征。其支持輔助視點功能,可提供準確、可重複的測試。側麵對位攝像頭與測試模塊支架相連,可以提供超穩定、無震動且持續聚焦測試位置的圖像。

孔徑儀成像係統

孔徑儀可提供高倍放大圖像,非常適合工具的準確校準。它也可以實現離線失效模式分析、測試分級和實時測試記錄。

成功測試翹曲晶圓和薄晶圓

智能邊緣升降托盤擁有獨特的設計,邊緣升降撐腳能確保彎曲晶圓不會從托盤上滑落。漸進的真空壓力在晶圓上方形成真空。

產品特點包括:

預先調準準確

通過在邊緣處完全支撐晶圓來消除橫向移動。

這確保了每個應用的晶圓放置。

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內置的十字線攝像頭對準目標

該對準目標可確保操作員百分之一百確信負載工具相對於卡盤的位置。這種校準大大提高了準確性。

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集成校準

通過內置的驗證和測試模組校準確保結果的準確性和可靠性。

智能和直觀的晶圓托盤控製器

多功能可編程控製器確保晶圓的可靠的傳輸。將其無縫集成到Paragon軟件中,可以提供有關真空夾緊壓力的反饋,從而防止損壞晶圓。

更重要的是,操作者可以輕鬆看到真空和氣壓的連續反饋信息,因此可以采取措施防止在壓縮空氣供應中斷的情況下損壞晶圓。

5

失效模式和分級

自動圖像采集係統定位正確的位置以優化圖像質量。擴展的景深選項也會生成自動聚焦的圖像和失效的3D地圖。

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典型失效模式

全自動晶圓測試技術

集成晶圓處理

Nordson DAGE4800與晶圓處理係統集成,可確保操作可靠性和可重複性。

集成晶圓處理係統將Nordson DAGE4800轉化為一個完全自動化的係統,其利用下一代Paragon™焊接強度測試軟件確保可靠性和可重複的操作。

直觀和可配置的界麵為各種樣品配置提供了快速、簡便的自動化測試程序開發和執行。一步一步的向導引導用戶完成設置過程,滿足各種選擇需求。Paragon還提供了同事顯示記錄來自多台攝像頭視圖的功能。


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CHAD晶圓處理器





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Nordson DAGE 4800 Integra是自動晶圓焊接強度測試的解決方案。整個係統由工廠配置並由一台PC控製。

幾乎無需操作員介入測試

該係統完全由Paragon™軟件進行控製,經過編程後,無需操作員介入即可自動執行測試的所有部分。

ECS/GEM集成

係統直接連接到網絡以允許SECS/GEM操作。當與FOUP加載係統結合使用時,測試、分析和結果可以完全自動化。

無塵室兼容

可選風扇過濾裝置和前門可加入離子去除裝置,以進行無塵室操作。

自動晶圓矯正器

晶圓矯正器確保在測試之前可將翹曲的晶圓自動夾緊到真空吸盤上。

風扇過濾器

4800 Integra可安裝風扇過濾器和封閉門。這樣可以保持係統內部的正壓力,並將碎屑排出測試區域。

互鎖選項

可以安裝光幕或互鎖門,以保護操作者免受測試區域的傷害。係統將在光幕或互鎖門被損壞或被打開時暫停當前的測試,並在障礙物消除後重新啟動。

CCD攝像頭監控

可選的CCD攝像頭可以安裝在晶圓處理機上,也可以安裝在4800 Integra內部。允許對測試過程進行監視和記錄。

 

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風扇過濾裝置和封閉門

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光幕或互鎖門


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自動晶圓矯正器

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